實現超高純鋁及其合金鍍膜材料國產化

隨著電子信息產品市場的快速發展以及各行業信息化建設的持續深入，高性能芯片、新型顯示等電子器件市場廣闊。薄膜材料是電子器件制造的關鍵支撐，其中鋁薄膜由于具有電阻率較低、易沉積、易刻蝕、工藝成熟等優點，成為集成電路、分立器件、液晶顯示等領域的關鍵材料。制備鋁薄膜用的超高純鋁鍍膜材料主要包括蒸發材料和濺射靶材等，它們是隨著我國電子信息產業的發展而興起的鋁材高端應用領域。


    早期超高純鋁及鋁合金蒸發材料和靶材的生產企業主要集中在美國、日本和法國等地，中國研發起步較晚。我國是全球能夠生產超高純鋁的國家之一，但是在超高純鋁材料的純度與合金種類、超高純鋁薄膜材料應用于電子信息行業開發和應用方面，國內公司與國際知名公司有差距，產能也不能滿足國內市場。


    我國是世界最大的電解鋁冶煉初加工生產基地，鋁及鋁合金材料與加工行業普遍面臨產能過剩、產品結構不合理、產業技術支撐尚顯不足等問題，制約了全行業的良性循環發展，本項目涉及的電子信息用超高純鋁及其合金蒸發材料和靶材是電子信息行業的關鍵基礎材料之一，符合有色金屬工業中長期科技發展規劃的要求，也符合新材料產業“十二五”發展規劃要求，是傳統有色金屬工業轉型升級、開發高附加值深加工產品的重要示范。


    有研億金新材料有限公司聯合北京有色金屬研究總院，在國家863計劃重點項目、北京市有關部門科技計劃項目以及企業自主研發項目的資助下，建立了超高純鋁及其合金鍍膜材料制備成套加工技術體系，實現了電子信息領域超高純鋁蒸發材料、半導體用鋁及其合金靶材、平板顯示用大尺寸鋁靶材等全系列鍍膜材料的開發及產業化。


    此外，公司積極開展國內外市場開拓，根據市場需求，進行超高純鋁材料相關的新技術、新產品開發。項目旨在建立完整的高性能超高純鋁及其合金鍍膜材料制備加工技術體系，實現了電子信息領域超高純鋁蒸發材料、半導體用鋁及其合金靶材等全系列鍍膜材料的開發及產業化。


    “電子信息用超高純鋁及其合金鍍膜材料的關鍵技術開發及產業化”項目為促進我國實現超高純鋁及其合金鍍膜材料國產化和本地化供應提供有力的技術支撐。


    超高純鋁鍍膜材料的研制包括超高純鋁及其合金蒸發材料和濺射靶材成套技術開發及應用。要求產品性能指標滿足電子信息應用領域嚴格的鍍膜要求，通過客戶的應用認證實現批量生產，質量穩定、性能可靠并達到國際同類產品標準。


    產品研制開發需要在超高純金屬的鑄造成型、塑性變形加工、熱處理、連接成形、精密制造加工、分析測試技術及結構優化設計等方面實現技術突破再進行綜合集成。


    有研億金新材料有限公司依托北京有色金屬研究總院在有色金屬材料領域的綜合優勢，從小尺寸的鋁蒸發材料研發起步，到4~6”小尺寸半導體用濺射靶材、8~12”大尺寸半導體用濺射靶材，再到高代線大尺寸平板顯示用濺射靶材的研制，歷經10年時間，實現了超高純鋁鍍膜材料全面技術突破，開發出超高純新型鋁合金制備技術、超高純鋁蒸發材料高效短流程潔凈制造技術、超高純鋁及其合金靶材微觀組織精細調控技術、超高純鋁及其合金靶材與背板的高可靠連接技術、高利用率靶材結構優化設計等關鍵技術，在產品性能達標的同時解決了大尺寸靶材工程化實施難題。


    通過項目的實施，發表文章21篇，制定鋁靶材和蒸發料相關國家/行業標準4項，獲得北京市自主創新產品認定1項、北京市新技術新產品認定1項，北京市高新技術成果轉化1項。項目驗收及專家評價階段，國家863計劃重點項目和北京市有關部門科技計劃重大項目均通過考核指標，并給與了高度的評價，一致通過驗收。科學技術成果評價該項目技術經濟指標先進，經濟、社會效益顯著，項目總體達到國內領先、國際先進水平。


    有研億金新材料有限公司技術實力雄厚，匯聚薄膜材料領域內眾多一流的科研生產精英，專業技術人才超過員工總數50%，高學歷、高職稱人才比例高達40%，同時擁有一支技術過硬經驗豐富的技術工人隊伍。通過與電子信息市場高端客戶合作完成了各種產品的考核驗證，薄膜性能達到國際同等水平，最終實現了超高純鋁蒸發材料、靶材的規模化生產線建設及生產質量控制體系建設。


超高純鋁鍍膜材料在國內絕大部分半導體企業和重要面板企業都實現批量穩定銷售。


    本項目已經形成具有我國自主知識產權的高端超高純鋁及其合金制品加工制造技術并建立相關產業，加速高端高純薄膜材料以面帶動整體的全方位發展效應，極大地促進傳統有色金屬工業的深加工和產業延伸技術的提升，并完善我國先進的電子信息制造業及其配套產品的供應鏈。


    多年來，有研億金新材料有限公司致力于超高純鍍膜材料的國產化和本地化供應，積極努力打造國產鍍膜材料品牌，在我國電子信息制造產業的發展過程中貢獻力量。